固体ソースH2Oプラズマを用いて表面処理したポリイミドテープ上のCr/Cu電極の折り曲げ耐久性
固体ソースH2Oプラズマを用いて表面処理したポリイミドテープ上のCr/Cu電極の折り曲げ耐久性
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使用固体源 H2O 等离子体处理的聚酰亚胺胶带表面的 Cr/Cu 电极的弯曲耐久性
DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
松谷晃宏
中科院分区:
文献类型:
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作者:
遠西 美重;佐藤美那;松下祥子;松谷晃宏