熱変形を考慮した形状可変鏡の変位拡大機構の最適設計
熱変形を考慮した形状可変鏡の変位拡大機構の最適設計
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考虑热变形的变形镜位移放大机构优化设计
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伊藤 誠，小中 優雅，北山 哲士
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Murai Naoki;Noguchi Yuki;Matsushima Kei;Yamada Takayuki;伊藤 誠，小中 優雅，北山 哲士
