EEM (Elastic Emission Machining)による4H-SiC(0001)表面の平滑化
EEM (Elastic Emission Machining)による4H-SiC(0001)表面の平滑化
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通过 EEM（弹性发射加工）平滑 4H-SiC(0001) 表面
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
森 勇藏
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久保田章亀;三村秀和;佐野泰久;山村和也;山内和人;森 勇藏
