Tomoaki Ubukata: "Pattern Transfer of Multi-step Structures to the Si Substrates Using Reactive Ion Etching"Extended Abstracts (The 50th Spring Meeting, 2003), The Japan Society of Applied Physics and Related Societies. 2. 801 (2003)
Tomoaki Ubukata: "Pattern Transfer of Multi-step Structures to the Si Substrates Using Reactive Ion Etching"Extended Abstracts (The 50th Spring Meeting, 2003), The Japan Society of Applied Physics and Related Societies. 2. 801 (2003)
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Tomoaki Ubukata：“使用反应离子蚀刻将多步结构图案转移到硅基板”扩展摘要（第 50 届春季会议，2003 年），日本应用物理学会及相关学会。
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