ドーパント種が水中パルスレーザアニールによるGe1-xSnx薄膜への高濃度ドーピングに及ぼす効果

ドーパント種が水中パルスレーザアニールによるGe1-xSnx薄膜への高濃度ドーピングに及ぼす効果
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掺杂剂种类对水下脉冲激光退火高浓度Ge1-xSnx薄膜的影响

DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
財満鎭明
財満鎭明
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
髙橋恒太;黒澤昌志;池上浩;坂下満男;中塚理;財満鎭明

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