Tomoaki Kaneda and Jun-ich Hanna: "Effect of dilvent on deposition of Si thinfilms by fluoro-oxidation of Si ane" Appl.Phys.Lett.,. (投稿予定). (1997)
Tomoaki Kaneda and Jun-ich Hanna: "Effect of dilvent on deposition of Si thinfilms by fluoro-oxidation of Si ane" Appl.Phys.Lett.,. (投稿予定). (1997)
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Tomoaki Kaneda 和 Jun-ich Hanna：“稀释剂对硅烷氟氧化沉积硅薄膜的影响”Appl.Phys.Lett.（待提交）。
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