Development of a Minimal multi-target helicon sputtering tool
Development of a Minimal multi-target helicon sputtering tool
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最小化多靶螺旋溅射工具的研制
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kazunori Takahashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Keisuke Asai;Taku Nonomura; Takayuki Nagata;Kensuke Kusama;Kazunori Takahashi
最小晶圆厂系统的光刻技术
影响因子：
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作者：
S. Khumpuang;H. Maekawa;S. Hara
通讯作者：
S. Hara