A 10-MHz SOI-Based Face Shear Square Micromechanical Resonator
A 10-MHz SOI-Based Face Shear Square Micromechanical Resonator
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基于 SOI 的 10 MHz 面剪切方形微机械谐振器
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Jiang J W
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Nguyen T L;Bao J F;Jiang J W
