Mechanical Characterization of Single Crystal Silicon and UV-LIGA Nickel Thin Films Using Tensile Tester operated in AFM

Mechanical Characterization of Single Crystal Silicon and UV-LIGA Nickel Thin Films Using Tensile Tester operated in AFM
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使用 AFM 拉伸测试仪对单晶硅和 UV-LIGA 镍薄膜进行机械表征

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Fatigue and Fracture of Engineering Materials and Structures, Blackwell Publishing 28
影响因子：
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通讯作者：
Yoshitada Isono
Yoshitada Isono
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Yeonkyeong Lee;Tada Junichi;Yoshitada Isono

文献摘要

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