古川勇二,横川宗彦ら: "異方性エッチング加工に関する研究-エッチングメカニズムの考察-" 1989年精密工学介秋季大会学術講演会講演論文集. 165-166 (1989)
古川勇二,横川宗彦ら: "異方性エッチング加工に関する研究-エッチングメカニズムの考察-" 1989年精密工学介秋季大会学術講演会講演論文集. 165-166 (1989)
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Yuji Furukawa、Munehiko Yokokawa 等人：“各向异性蚀刻加工的研究 - 蚀刻机制的考虑 -” 1989 年秋季精密工程会议记录 165-166 (1989)。
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