Design and Fabrication of Transverse Quasi-Phase-Matched HfO2/AlN Channel Waveguide for 230-nm Far-UV Second Harmonic Generation
Design and Fabrication of Transverse Quasi-Phase-Matched HfO2/AlN Channel Waveguide for 230-nm Far-UV Second Harmonic Generation
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用于 230 nm 远紫外二次谐波产生的横向准相位匹配 HfO2/AlN 通道波导的设计和制造
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
R. Katayama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Honda;K. Shujiki;H. Miyake;S. Ichikawa;Y. Fuijiwara;M. Uemukai;T. Tanikawa;R. Katayama
