高集積フレキシブルデバイスシステム作製のための応力緩衝層の評価

高集積フレキシブルデバイスシステム作製のための応力緩衝層の評価
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用于制造高度集成柔性器件系统的应力缓冲层的评估

DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
福島 誉史
福島 誉史
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
煤孫 祐樹;Achille Jacqumond;高橋 則之;木野 久志;田中 徹;福島 誉史

文献摘要

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