イオン液体を用いた電析Si薄膜に対する低不純物化の検討
イオン液体を用いた電析Si薄膜に対する低不純物化の検討
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离子液体减少电沉积硅薄膜中杂质的研究
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉原昌幸，國本雅宏，福中康博，本間敬之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
齊藤 光平，酒井 哲也，Kurniawan Winarto;久保内 昌敏;新森英之;吉原昌幸，國本雅宏，福中康博，本間敬之
