M.Ishida, Y.T.Lee, T.Higashino, H.D.Seo and T.Nakamunr: "Double SOI Structures and Devoce Applications with Heteroepitaxial Al203 and Si" Jpn.J.Appl.Phys.34. 832-836 (1995)

M.Ishida, Y.T.Lee, T.Higashino, H.D.Seo and T.Nakamunr: "Double SOI Structures and Devoce Applications with Heteroepitaxial Al203 and Si" Jpn.J.Appl.Phys.34. 832-836 (1995)
复制标题

M.Ishida、Y.T.Lee、T.Higashino、H.D.Seo 和 T.Nakamunr:“异质外延 Al2O3 和 Si 的双 SOI 结构和 Devoce 应用”Jpn.J.Appl.Phys.34。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献