不同靶基距下凹槽表面HIPIMS 法制备钒膜的微 观结构及膜厚均匀性
不同靶基距下凹槽表面HIPIMS 法制备钒膜的微 观结构及膜厚均匀性
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DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
许建平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
李春伟;田修波;巩春志;许建平
