Preparation of mixed metal thin films by a PVD method using several kinds of powder targets
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DOI：
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发表时间：
2015-10
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Suda;Hiroharu Kawasaki;T. Ohshima;Y. Yagyu;T. Ihara;M. Yamauchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Suda;Hiroharu Kawasaki;T. Ohshima;Y. Yagyu;T. Ihara;M. Yamauchi
