質量分析及びプローブによるDLC成膜用炭化水素プラズマの診断
質量分析及びプローブによるDLC成膜用炭化水素プラズマの診断
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使用质谱和探针诊断用于 DLC 沉积的碳氢化合物等离子体
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大野祐也，小田昭紀
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Oda and H. Kousaka;大木一真，小田昭紀;大野祐也，小田昭紀
