ナノワイヤにより凹凸を形成したSiC薄膜の摩擦係数評価
ナノワイヤにより凹凸を形成したSiC薄膜の摩擦係数評価
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纳米线形成的凹凸SiC薄膜的摩擦系数评估
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
加藤昌彦，小林健吾
中科院分区：
文献类型：
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作者：
衣 偉東;窪田隼人;牛 立斌;加藤昌彦，小林健吾
