回折限界EUV結像を実現するアクロマティックEUV多層膜ミラーの開発
回折限界EUV結像を実現するアクロマティックEUV多層膜ミラーの開発
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开发实现衍射极限EUV成像的消色差EUV多层镜
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
金子 明誉,豊田 光紀,高田 昌樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
金子 明誉,豊田 光紀,高田 昌樹
