S.Takahashi,T.Miyoshi,Y.Takaya and K.Shirai: "Optical Measurement of COP Defects on Sillcon Wafer Surface by Laser Scattered Defect Pattern"Proceedings of ASPE 1999 Annual Meeting. Monterey. 344-347 (1999)
S.Takahashi,T.Miyoshi,Y.Takaya and K.Shirai: "Optical Measurement of COP Defects on Sillcon Wafer Surface by Laser Scattered Defect Pattern"Proceedings of ASPE 1999 Annual Meeting. Monterey. 344-347 (1999)
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S.Takahashi、T.Miyoshi、Y.Takaya 和 K.Shirai：“通过激光散射缺陷图案对硅晶圆表面 COP 缺陷进行光学测量”ASPE 1999 年年会论文集。
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