低エネルギー領域における酸化マグネシウム薄膜のスパッタ率測定
低エネルギー領域における酸化マグネシウム薄膜のスパッタ率測定
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低能区氧化镁薄膜溅射速率测量
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
浜口智志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
日根清裕;吉村智;幾世和将;木内正人;橋本潤;寺内正治;西谷幹彦;浜口智志
