Nitrogen Plasma Optimization for High-Quality Dilute Nitrides
Nitrogen Plasma Optimization for High-Quality Dilute Nitrides
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氮等离子体优化以获得高质量稀氮化物
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J. Harris
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Wistey;S. Bank;H. Yuen;H. Bae;J. Harris
