大気圧プラズマ酸化による太陽電池用Si表面パッシベーション膜の形成
大気圧プラズマ酸化による太陽電池用Si表面パッシベーション膜の形成
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常压等离子体氧化形成太阳能电池硅表面钝化膜
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他3名
中科院分区：
文献类型：
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作者：
後藤一磨;大参宏昌;垣内弘章;安武潔;他3名
