K.Sato: "Characterization of MEMS materials : measurement of etching properties and mechanical strength" Proc.of IEEE 7th Int.Symp.on Micromachine and Human Science (Nagoya,October,96). 43-50 (1996)
K.Sato: "Characterization of MEMS materials : measurement of etching properties and mechanical strength" Proc.of IEEE 7th Int.Symp.on Micromachine and Human Science (Nagoya,October,96). 43-50 (1996)
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K.Sato：“MEMS 材料的表征：蚀刻特性和机械强度的测量”Proc.of IEEE 7th Int.Symp.on Micromachine and Human Science（名古屋，10 月，96）。
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