A structural, optical and electrical comparison between physical vapour deposition and slot-die deposition of Al:ZnO (AZO)

A structural, optical and electrical comparison between physical vapour deposition and slot-die deposition of Al:ZnO (AZO)
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Al:ZnO (AZO) 物理气相沉积与槽模沉积之间的结构、光学和电学比较

DOI:
10.1557/s43580-023-00554-w
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
0.8
通讯作者:
Matheson E
Matheson E
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
Matheson E

文献摘要

参考文献

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Zhiyun Zhang;Chonggao Bao;Shengqiang Ma;Shuzeng Hou
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