伊達 亜由美,北守 一隆,酒井 洋輔,田頭 博昭: "Modeling of SiH_4 RF Plasma Considering Surface Reactions(I)" Proceedings of the 8th Symposium on Plasma Processing. 1. 143-146 (1991)
伊達 亜由美,北守 一隆,酒井 洋輔,田頭 博昭: "Modeling of SiH_4 RF Plasma Considering Surface Reactions(I)" Proceedings of the 8th Symposium on Plasma Processing. 1. 143-146 (1991)
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Ayumi Date、Kazutaka Kitamori、Yosuke Sakai、Hiroaki Tagashira：“考虑表面反应的 SiH_4 RF 等离子体建模(I)”第八届等离子体处理研讨会论文集 1. 143-146 (1991)。
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