Low-energy ion source characteristics for producing an ultra-fine microbeam
Low-energy ion source characteristics for producing an ultra-fine microbeam
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用于产生超细微束的低能离子源特性
DOI：
10.1016/0168-583x(95)01308-3
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发表时间：
1996
影响因子：
1.3
通讯作者：
A. Isoya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Ishii;R. Tanaka;A. Isoya
