マイクロピッチラックを用いた精密ステージの研究
マイクロピッチラックを用いた精密ステージの研究
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采用微节距齿条的精密工作台研究
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大倉義弘,本田 智
中科院分区：
文献类型：
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作者：
SUCIU C.V ; 後藤穂積;本田 智;大倉義弘,本田 智
