S.Imai: "Atomic Layer Etching of Si by Thermal Desorption method" MRS Fall Meeting. (Abstract). E8.9 (1994)
S.Imai: "Atomic Layer Etching of Si by Thermal Desorption method" MRS Fall Meeting. (Abstract). E8.9 (1994)
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S.Imai：“通过热解吸法对硅进行原子层蚀刻”MRS 秋季会议。
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