パターン密度均一化に貢献するオンチップデカップリング容量セルの提案
パターン密度均一化に貢献するオンチップデカップリング容量セルの提案
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有助于实现均匀图案密度的片上去耦电容器单元的提案
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
金本俊幾
中科院分区:
文献类型:
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作者:
岡巧;葛西瀬梨亜;石田大和;佐野文也;今井雅;金本俊幾