Multirate PWM Control of Precision Stage for Ultrahigh-Speed Nanoscale Positioning
Multirate PWM Control of Precision Stage for Ultrahigh-Speed Nanoscale Positioning
复制标题
用于超高速纳米级定位的精密级多速率 PWM 控制
DOI：
10.1541/ieejjia.3.270
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发表时间：
2014
影响因子：
1.7
通讯作者：
K. Sakata
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H. Fujimoto;K. Sakata
运动控制技术用于工业设备中的纳米级定位，例如数值控制（NC）机床和曝光系统。高级运动控制技术基于精确的电流控制。但是，加速确切的电流响应会由于逆变器的载体周期而造成严重限制。另外，位置响应必须比当前响应慢。在上一篇论文中，我们设计和制造了一个实验精确阶段，基于多次脉冲宽度调制（PWM）控制，实现了新型的超高速度纳米级定位。但是，由于舞台的共振模式，很难更快，更精确地定位。在本文中，我们提出了一个考虑共振模式的多条PWM控制。进行仿真和实验以证明所提出方法的优势。
Motion control techniques are employed for nanoscale positioning in industrial equipment such as numerical control (NC) machine tools and exposure systems. The advanced motion control techniques are based on precise current control. However, speeding up the precise current response causes a serious limitation owing to the carrier period of the inverter. In addition, the position response has to be slower than the current response. In a previous paper, we designed and fabricated an experimental precision stage, achieving novel ultrahigh-speed nanoscale positioning based on multirate pulse width modulation (PWM) control. However, it was difficult to achieve faster and more precise positioning because of the resonance modes of the stage. In this paper, we propose a multirate PWM control in which the resonance mode is considered. Simulations and experiments are performed to demonstrate the advantages of the proposed method.
影响因子：
7.7
作者：
Fujimoto, H;Hori, Y;Kawamura, A
通讯作者：
Kawamura, A
基于PWM保持和电流环精确模型的伺服电机完美跟踪控制
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
作者：
H.Fujimoto;K.Fukushima;S.Nakagawa;白石貴行(藤本研大学院生);Hiroshi Fujimoto;大島隆史(藤本研大学院生);坂田晃一(藤本研大学院生);浅海博圭(藤本研大学院生);寺田祐貴(藤本研学部生);白石貴行(藤本研大学院生);中井孝洋(藤本研大学院生);藤本 博志;Koichi Sakata(藤本研大学院生);Takashi Oshima(藤本研大学院生);Takahiro Nakai(藤本研大学院生);仁科裕章(藤本研大学院生);浅海博圭(藤本研大学院生);坂田晃一(藤本研大学院生);白石貴行(藤本研大学院生);大島隆史(藤本研大学院生);中井孝洋(藤本研大学院生);Hiroshi Fujimoto;Hiroshi Fujimoto;Koichi Sakata(藤本研大学院生)
通讯作者：
Koichi Sakata(藤本研大学院生)
任意波形间采样单相逆变器多速率完美跟踪控制
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
作者：
H.Fujimoto;K.Fukushima;S.Nakagawa;白石貴行(藤本研大学院生);Hiroshi Fujimoto;大島隆史(藤本研大学院生);坂田晃一(藤本研大学院生);浅海博圭(藤本研大学院生);寺田祐貴(藤本研学部生);白石貴行(藤本研大学院生);中井孝洋(藤本研大学院生);藤本 博志;Koichi Sakata(藤本研大学院生);Takashi Oshima(藤本研大学院生);Takahiro Nakai(藤本研大学院生);仁科裕章(藤本研大学院生);浅海博圭(藤本研大学院生);坂田晃一(藤本研大学院生);白石貴行(藤本研大学院生);大島隆史(藤本研大学院生);中井孝洋(藤本研大学院生);Hiroshi Fujimoto;Hiroshi Fujimoto;Koichi Sakata(藤本研大学院生);Hiroshi Fujimoto
通讯作者：
Hiroshi Fujimoto