定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第3報)-離散的サンプルを用いた解像特性の実験的検討-
定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第3報)-離散的サンプルを用いた解像特性の実験的検討-
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利用驻波位移对半导体晶片表面进行超分辨率光学缺陷检测（第3次报告） - 使用离散样本的分辨率特性的实验研究 -
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高増潔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
臼杵深;西岡宏晃;高橋哲;高増潔
