Failure Analysis of SiC MOS Capacitor with Poly‐Si Electrode
Failure Analysis of SiC MOS Capacitor with Poly‐Si Electrode
复制标题
多晶硅电极SiC MOS电容器失效分析
DOI：
--
复制
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Masaaki Niwa
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Soshi Sato;Kikuo Yamabe;Tetsuo Endoh;Masaaki Niwa
