Development of ICP Light Source for Wide Number Density Range Measurement by VUV Absorption Spectroscopy
Development of ICP Light Source for Wide Number Density Range Measurement by VUV Absorption Spectroscopy
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开发用于 VUV 吸收光谱法宽数密度范围测量的 ICP 光源
DOI：
10.2514/6.2013-37
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Y. Yamagiwa
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Akira Kuwahara;M. Matsui;Y. Yamagiwa
研制了一套宽范围测量原子序数密度的真空紫外吸收光谱系统。采用双管电感耦合等离子体作为光源。通过改变内管和外管的质量流率，针对目标数密度范围优化探针束轮廓。使用冷氙气验证了该系统。其结果是，测量数密度范围从传统的两个数量级扩展到五个数量级。标称A =爱因斯坦系数fprobe = ICP的线形函数ftube =石英管中吸收轮廓的线形函数ftarget =靶的线形函数g =统计权重i =下状态j =上状态I0 =入射光束强度
A vacuum ultraviolet absorption spectroscopy system for a wide measurement range of atomic number densities is developed. Dual-tube inductively coupled plasma was used as alight source. The probe beam profile was optimized for the target number density range by changing the mass flow rate of the inner and outer tubes. This system was verified using cold xenon gas. As a result, the measurement number density range was extended from the conventional two orders to five orders of magnitude. Nomenclature A = Einstrein coefficient fprobe = line shape function of ICP ftube = line shape function of absorption profile in quartz tube ftarget = line shape function of target g = statistical weight i = lower state j = upper state I0 = incident beam intensity
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DOI：
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发表时间：
2007
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通讯作者：
M.Matsui
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发表时间：
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通讯作者：
M.Matsui