MOSFETのチャネル抵抗を用いたピエゾ抵抗型MEMS圧力センサの試作と評価
MOSFETのチャネル抵抗を用いたピエゾ抵抗型MEMS圧力センサの試作と評価
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使用 MOSFET 沟道电阻的压阻 MEMS 压力传感器的原型制作和评估
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小松 聡
中科院分区：
文献类型：
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作者：
前澤 龍平;小松 聡
