Basic Research on an Out-of-plane Rotating Microactuator

Basic Research on an Out-of-plane Rotating Microactuator
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平面外旋转微执行器的基础研究

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Proceedings of 2005 spring meeting of JSPE
影响因子：
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通讯作者：
Akira Shimokohbe
Akira Shimokohbe
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Hiroaki Akamatu;Seiichi Hata;Takashi Fukushige;Akira Shimokohbe

文献摘要

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