T.Ifuku, M.Otobe, A.Itoh and S.Oda: "Fabrication of Nanocrystalline Silicon with Small Spread of Particle Size by Pulsed Gas Plasma" Japanese Journal of Applied Physics. 36. 4031-4034 (1997)
T.Ifuku, M.Otobe, A.Itoh and S.Oda: "Fabrication of Nanocrystalline Silicon with Small Spread of Particle Size by Pulsed Gas Plasma" Japanese Journal of Applied Physics. 36. 4031-4034 (1997)
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T.Ifuku、M.Otobe、A.Itoh 和 S.Oda：“通过脉冲气体等离子体制造具有小粒径分布的纳米晶硅”日本应用物理学杂志。
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