電気粘性ゲルを用いたマイクロ研磨法の開発

電気粘性ゲルを用いたマイクロ研磨法の開発
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电流变凝胶微抛光方法的开发

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
安齊秀伸
安齊秀伸
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
竹澤慎吾;柿沼康弘;青山藤詞郎;田中克敏;安齊秀伸

文献摘要

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