Stress and microstructure evolution during growth of magnetron-sputtered low-mobility metal films: Influence of the nucleation conditions
Stress and microstructure evolution during growth of magnetron-sputtered low-mobility metal films: Influence of the nucleation conditions
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磁控溅射低迁移率金属薄膜生长过程中的应力和微观结构演变：成核条件的影响
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
C. Jaouen
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Fillon;G. Abadias;A. Michel;C. Jaouen
