新コーティングのすべて」第2章,2.2(1),大気圧プラズマCVD法-フィルムコーティングのための大気圧・超高周波プラズマ技術-
新コーティングのすべて」第2章,2.2(1),大気圧プラズマCVD法-フィルムコーティングのための大気圧・超高周波プラズマ技術-
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《All About New Coatings》第 2 章 2.2(1)，大气压等离子体 CVD 方法 - 用于薄膜涂层的大气压和超高频等离子体技术 -
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安武潔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
垣内弘章;大参宏昌;安武潔
