高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成(格子基準面ローカル領域の高精度化)
高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成(格子基準面ローカル領域の高精度化)
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利用高速刀具伺服高精度创建大面积正弦精细光栅参考面（提高光栅参考面局部区域精度）
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
清野慧
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田野誠;高偉;荒木武;清野慧
