AlN:Er薄膜在不同退火温度下应力诱导的微观结构演变
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DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
徐科
中科院分区：
文献类型：
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作者：
阳明明;莫亚娟;王晓丹;曾雄辉;刘雪华;黄俊;张纪才;王建峰;徐科
