T.HIGUCHI, N.URASE, H.SANO, Y.UCHIYAMA: "Proceeding of the 18th International Japan-Korea Seminar on Ceramics, Kagoshima, Japan, Nov. 20-22(2001), pp. 176-180."Effect of Texture and Structure of Carbon Source Films on Formation of β-SiC Thin Film. 5 (2001

T.HIGUCHI, N.URASE, H.SANO, Y.UCHIYAMA: "Proceeding of the 18th International Japan-Korea Seminar on Ceramics, Kagoshima, Japan, Nov. 20-22(2001), pp. 176-180."Effect of Texture and Structure of Carbon Source Films on Formation of β-SiC Thin Film. 5 (2001
复制标题

T.HIGUCHI、N.URASE、H.SANO、Y.UchiYAMA:“第 18 届国际日韩陶瓷研讨会论文集,日本鹿儿岛,11 月 20-22 日(2001 年),第 176-180 页。”效果碳源膜的织构和结构对β-SiC薄膜形成的影响5(2001年)

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献