OMVPE成長の半導体ヘテロ界面その場観察に向けた実験室系X線CTR散乱測定(EMS賞受賞)

OMVPE成長の半導体ヘテロ界面その場観察に向けた実験室系X線CTR散乱測定(EMS賞受賞)
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基于实验室的 X 射线 CTR 散射测量,用于 OMVPE 生长中半导体异质界面的原位观察(EMS 奖获得者)

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
竹田美和
竹田美和
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
水野哲也;前田義紀;神谷肇;森晶子;田渕雅夫;竹田美和

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