Supercritical fluid deposition of copper into mesoporous silicon
Supercritical fluid deposition of copper into mesoporous silicon
复制标题
铜在介孔硅中的超临界流体沉积
DOI：
10.1016/j.tsf.2013.08.034
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
B. Gelloz
中科院分区：
文献类型：
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作者：
L. Jin;E. Kondoh;T. Oya;B. Gelloz
