Nobuyuki Moronuki et al.: "Fabrication of a Linear Motion Microsystem on a Si wafer" International Journal of the JSPE. Vol. 30, No. 2. 168-169 (1996)
Nobuyuki Moronuki et al.: "Fabrication of a Linear Motion Microsystem on a Si wafer" International Journal of the JSPE. Vol. 30, No. 2. 168-169 (1996)
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Nobuyuki Moronuki 等人：“硅晶圆上线性运动微系统的制造”JSPE 国际期刊。
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