集中質量型カンチレバーのナノ接触共振による水晶ウエハの加工変質層の評価
集中質量型カンチレバーのナノ接触共振による水晶ウエハの加工変質層の評価
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集总质量悬臂梁纳米接触共振评价晶体晶片加工损伤层
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
村岡幹夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
勝又悠樹;村岡幹夫
