高密度中圧水素プラズマを用いたシリコンナノコーン創成－結晶面方位とナノ構造の相関－
高密度中圧水素プラズマを用いたシリコンナノコーン創成－結晶面方位とナノ構造の相関－
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使用高密度中压氢等离子体创建硅纳米锥 - 晶面取向和纳米结构之间的相关性 -
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
多村尚起，野村俊光，垣内弘章，大参宏昌
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomokazu Sano;Takayuki Eimura;Akio Hirose;多村尚起，野村俊光，垣内弘章，大参宏昌
