Vertical-scanning profilometry having nanometric height resolution and scanning speed more than 40μm

Vertical-scanning profilometry having nanometric height resolution and scanning speed more than 40μm
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垂直扫描轮廓仪，具有纳米级高度分辨率和扫描速度超过40μm

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Proceedings of SPIE, Optomechatronic Sensor, Actuator, and Control 5602
影响因子：
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通讯作者：
Masaaki ADACHI
Masaaki ADACHI
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Masaaki ADACHI

文献摘要

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