プラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面の銅メタライジングー電解銅めっき膜の密着強度におけるプラズマ発生圧力依存性－
プラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面の銅メタライジングー電解銅めっき膜の密着強度におけるプラズマ発生圧力依存性－
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通过等离子体化学液相沉积法在含氟聚合物表面进行铜金属化 - 等离子体产生压力对电解铜镀膜附着强度的依赖性 -
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山村和也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大岡健人;山本悠人;是津信行;山村和也
